汇聚超精密加工装备,全面提升光学与半导体制造效率
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本设备主要用于半导体、蓝宝石、光学玻璃、石英、陶瓷、金属等硬脆性材料的高精度双面研磨和抛光加工。
机身主体采用铸锻件,稳定性好。精密元件选用国际知名品牌,确保研磨抛光品质的高效稳定及设备的使用寿命。人性化操作界面、参数设置及工艺方式转换方便。多规格、多动力机型可供用户根据需求选择。
| 类别 | 项目 | JRSM-16B | JRSM-18B | JRSM-20B |
| 研磨机 | 磨盘尺寸(mm) | Φ 1112*Φ380*50 | Φ 1230*Φ426*50 | Φ 1355*Φ458*50 |
| 最大加工尺寸(mm) | Φ 340 | Φ 390 | Φ 420 | |
| 抛光机 | 抛盘尺寸(mm) | Φ1149*Φ343*50 | Φ 1253*Φ403*50 | Φ 1380*Φ433*50 |
| 最大加工尺寸(mm) | Φ 340 | Φ 390 | Φ 420 | |
| 游星轮参数 | 数量 | 5 | 5 | 5 |
| 齿数(公制) | 200 | / | / | |
| 模数(公制) | DP12 | / | / | |
| 驱动方式 | 1电机 | / | / | / |
| 2电机 | 12.5 KW | / | / | |
| 3电机 | 15.45 KW | 15 KW | 25.45 KW | |
| 4电机 | 22.7 KW | 28.8 KW | 35.7 KW | |
| 加工能力 | 75mm | 85 | 105 | 115 |
| 100mm | 40 | 55 | 60 | |
| 125mm | 25 | 25 | 45 | |
| 150mm | 20 | 5 | 30 | |
| 电源电压 | / | 3*10+2*6 (mm²) | 3*10+2*6 (mm²) | 3*10+2*6 (mm²) |
| 压缩空气源 | / | 0.5-0.6MPa | 0.5-0.6MPa | 0.5-0.6MPa |
| 外形尺寸(长x宽x高) | / | 2655*1680*2900mm | 2400*1800*2960mm | 2950*1890*3210mm |
| 设备重量 | / | 约 5.5T | 约 8.0T | 约 8.0T |
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