汇聚超精密加工装备,全面提升光学与半导体制造效率
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本设备主要用于半导体、蓝宝石、光学玻璃、石英、陶瓷、金属等硬脆性材料的高精度双面研磨和抛光加工。
机身主体采用铸锻件,稳定性好。精密元件选用国际知名品牌,确保研磨抛光品质的高效稳定及设备的使用寿命。人性化操作界面、参数设置及工艺方式转换方便。多规格、多动力机型可供用户根据需求选择。
| 类别 | 项目 | JRSM-22B | JRSM-24B | JRSM-32B |
| 研磨机 | 磨盘尺寸(mm) | Φ 1465*Φ 497*50 | Φ 1580*Φ 562*60 | Φ 2145*Φ 735*70 |
| 最大加工尺寸(mm) | Φ 470 | Φ 550 | Φ 700 | |
| 抛光机 | 抛盘尺寸(mm) | Φ 1495*Φ 467*50 | Φ 1646*Φ 496*60 | Φ 2200*Φ 680*70 |
| 最大加工尺寸(mm) | Φ 470 | Φ 550 | Φ 700 | |
| 游星轮参数 | 数量 | 5 | 5 | 5 |
| 齿数(公制) | 138 | 152 | 270 | |
| 模数(公制) | 4 | 4 | 3 | |
| 驱动方式 | 1电机 | / | / | / |
| 2电机 | / | / | / | |
| 3电机 | / | / | / | |
| 4电机 | 43.2 KW | 43.2 KW | 54.5 KW | |
| 加工能力 | 100mm | 75 | / | / |
| 125mm | 40 | / | / | |
| 150mm | 30 | 40 | / | |
| 200mm | 20 | 25 | / | |
| 300mm | / | / | 20 | |
| 电源电压 | / | 3*16+2*6 (mm²) | 3*16+2*6 (mm²) | 3*25+2*6 (mm²) |
| 压缩空气源 | / | 0.5-0.6MPa | 0.5-0.6MPa | 0.5-0.6MPa |
| 外形尺寸(长x宽x高) | / | 2950*1890*3210mm | 2950*1890*3210mm | 3500*3900*4030mm |
| 设备重量 | / | 约 8.5T | 约 10T | 约 28T |
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、
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