功能特性

高精度智能抛光系统依托高精度且性能稳定的工业机器人搭建运动平台，搭载具备高精准度的力控抛光头，并结合数控光学加工工艺专用软件，拥有卓越的加工能力。无论是大口径平面、球面、非球面与自由曲面等各类光学元件，都能实现高精度的确定性抛光加工。

在加工材料方面，该设备展现出广泛的适用性，涵盖 K9 玻璃、石英、ULE、微晶玻璃、单晶硅、碳化硅、蓝宝石等常见的光学材料，陶瓷等半导体材料，以及金属铜、铝、镍等金属材质。

此外，该抛光系统的抛光头配置丰富，可选用小工具抛光头、气囊抛光头。这些不同类型的抛光头赋予了设备多样化的加工功能，不仅能够在工件研磨后快速去除表面破坏层，还能实现表面快速修形抛光、平滑抛光以及提升表面粗糙度等操作，极大地拓展了设备的应用场景和加工精度。

设备主要配置及参数

高精度智能抛光系统主要包括：高精度 6 自由度机器人、精密力控抛光头、加工工件台、控制柜、智能抛光工艺软件、抛光液循环系统、多种抛光工具、防护罩等部件。

数控光学加工工艺软件主要功能

1.工艺软件可对测试数据进行预处理，包括面型拟合，面型去倾斜，面型数据延拓，掩膜等功能；

2.工艺软件可对实测去除函数数据进行处理；

3.工艺软件可实现机器人光栅轨迹、螺旋轨迹的生成；

4.工艺软件可对工件面型参数和外形轮廓进行数字建模，支持圆形、椭圆形、矩形、环形和多边形等多种外形工件；

5.面型支持平面、球面、非球面、离轴非球面、XY 多项式自由曲面等；

6.根据三坐标测量点云拟合计算面形的功能；

7.Zygo、4D、干涉仪检测数据的分析与处理功能；

8.工艺软件可对加工结果进行仿真，输出加工后的模拟面型数据，并仿真加工周期，收敛效率等参数。

9.工艺软件可对当前工艺参数进行存储，生成加工工艺记录文件。

高精度智能抛光系统尺寸规格

1.占地尺寸：2780（长）× 1200（宽）×2200（高）（mm）；

2.设备总重：2.9T；

3.设备功率:7KW。