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汇聚超精密加工装备,全面提升光学与半导体制造效率

JRZN-60 机器人抛光机

应用

可以实现大口径平面、球面、非球面、离轴非球面和自由曲面等光学元件的确定性抛光加工,可加工光学元器件材料:涵盖石英、玻璃、ULE、单晶硅、碳化硅、蓝宝石、陶瓷等光学材料,以及铜、铝、镍等金属材质。


技术规格
JRZN-60 机器人抛光机 技术参数
加工元件类型平面/球面/非球面/自由曲面等加工元件外形圆形/椭圆/矩形/多边形/内开异形孔形等
加工元件最大口径50mm~600mm最大元件厚度≤500mm
抛光头额定转速3000rpm工作台直径700mm
压力设置范围0~125N压力设置分辨率±0.4N
加工精度平面RMS≤7nm / 非球RMS≤10nm抛光表面粗糙度Ra≤1nm
表面光洁度优于II级位姿重复精度(ISO9283)±0.05mm
机械臂最大负载能力20Kg外形尺寸2300×1900×2500(mm)
机床重量约2.2吨

机床的任何特殊需求都可根据用户的要求设计、制造。


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JRZN-60 机器人抛光机 技术参数
加工元件类型平面/球面/非球面/自由曲面等加工元件外形圆形/椭圆/矩形/多边形/内开异形孔形等
加工元件最大口径50mm~600mm最大元件厚度≤500mm
抛光头额定转速3000rpm工作台直径700mm
压力设置范围0~125N压力设置分辨率±0.4N
加工精度平面RMS≤7nm / 非球RMS≤10nm抛光表面粗糙度Ra≤1nm
表面光洁度优于II级位姿重复精度(ISO9283)±0.05mm
机械臂最大负载能力20Kg外形尺寸2300×1900×2500(mm)
机床重量约2.2吨

机床的任何特殊需求都可根据用户的要求设计、制造。


极锐科技(广西)有限公司
极锐科技是一家专注于精密光学与半导体的高新技术企业,提供集研发、制造、全球输出于一体的高端智能装备与一站式全链条工艺解决方案。
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